1、工艺维护与优化
负责光刻工艺的日常监控与异常处理,确保产品良率及产能稳定12;
通过SPC(统计过程控制)管理工艺稳定性,改进工艺条件以减少缺陷和返工;
优化光刻胶涂布、曝光、显影等关键步骤,提升工艺窗口并降低生产成本。
2、新工艺与设备开发
主导新机台(如Nikon、佳能光刻机)的调试、验收及工艺参数设定;
验证新材料(如光刻胶)及新工艺的可行性,完成量产导入;
设计掩膜版并管理其质量,确保图形尺寸精确且无畸变。
3、跨部门协作与技术支持
协同制造部解决生产异常,培训操作员技能及标准作业流程(SOP);
配合产品整合(PIE)、良率(YE)部门分析缺陷根源,提升整体良率;
支持新产品试产评估,制定光刻段工艺参数并管控风险
1、学历与专业
本科及以上学历,微电子、材料科学、物理、化学或自动化等相关专业。
2、经验与技能
熟悉光刻机(如Nikon Stepper、TEL轨道机)操作原理及维护58;
掌握SPC、FMEA(失效模式分析)等工艺管控工具;
具备半导体Fab厂光刻工艺2年以上经验,高级岗位需4年+经验。
3、核心能力
能独立处理机台异常和工艺缺陷分析;
具备DOE(实验设计)能力,通过数据优化工艺参数;
适应无尘室工作环境及轮班/紧急支持(On-call)制度