公司描述
上海芯源微成立于2021年,是沈阳芯源微电子设备股份有限公司的全资子公司,发展定位为国内高端半导体专用设备研发高地,主要开展28nm及以下高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备、化学清洗设备及其核心零部件研发及产业化,打造更高技术节点半导体设备,更好服务前道用户。2024年3月,“芯源微临港研发及产业化”项目正式竣工投产,厂区占地45亩、建筑面积5.4万平方米,拥有超6400平高等级洁净厂房,配备总值超亿元的世界一流水平检验测试设备,预计2026年产值10亿元、带动500人就业,2028年满产产值25亿、带动1000人就业。
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