无锡唯睿半导体装备与零部件有限公司

无锡唯睿半导体装备与零部件有限公司（无锡半导体装备与关键零部件创新中心）：以“一个创新中心、一个专业园区、一支股权投资基金”的闭环发展模式，针对卡脖子的半导体装备和零部件产品进行自主研发和项目引入，加速半导体装备和零部件的研发攻关和国产化。系统性打造从技术预研到商业化落地的“0-1-10-100”全生命周期创新创业生态，为研发和引入项目提供精准匹配的服务支持。创新中心自2025年4月启用以来已引8个高端半导体装备和零部件项目，包括远程等离子源（RPS）、高纯氟材料管阀、半导体设备电源、超声波流量计、快速热处理系统（RTP）以及残余气体分析仪（RGA）等半导体装备和零部件产品，均具备自主研发能力以及产品迭代能力，部分产品已经进入国内知名晶圆厂测试验证并获得订单。